掃描電鏡(SEM)主要用于高分辨率微區(qū)形貌分析，它是一種大型精密儀器，具有景深大、分辨率高、成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點。掃描電鏡能夠觀察和分析材料的表面形貌、組織、成分，以及進行材料斷口分析和失效分析。它還可以對材料表面微區(qū)成分進行定性和定量分析，廣泛應(yīng)用于材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學材料等領(lǐng)域。
掃描電鏡是一種利用聚焦的高能電子束掃描樣品表面，通過電子與樣品中的原子相互作用產(chǎn)生包含樣品表面形貌和成分信息的各種信號，再經(jīng)過信息收集、放大、再成像的過程以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的.
掃描電鏡的用途包括：
觀察無機或有機固體材料斷口、表面形貌、變形層等，進行機理研究。
金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分的鑒定。
觀察陶瓷、混凝土、生物、高分子、礦物、纖維等無機或有機固體材料表面的形貌。
微型加工的表征和分析，如集成電路圖形及斷面尺寸、PN結(jié)位置、結(jié)區(qū)缺陷等。
金屬鍍層厚度及各種固體材料膜層厚度的測定。
研究晶體的生長過程、相變、缺陷，以及無機或有機固體材料的粒度觀察和分析。
掃描電鏡作為一種重要的電子顯微鏡技術(shù)，在科學研究領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。其高分辨率、大景深、寬放大倍數(shù)以及豐富的樣品類型等特點使得其成為材料科學研究的重要工具之一。
