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非真空環(huán)境對(duì)全自動(dòng)掃描電子顯微鏡的觀測(cè)有什么影響?

 更新時(shí)間:2022-10-22 點(diǎn)擊量:1274
  全自動(dòng)掃描電子顯微鏡是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的儀器。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測(cè)樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測(cè)樣品種類(lèi)豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。
 
  全自動(dòng)掃描電子顯微鏡類(lèi)型多樣,不同類(lèi)型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子槍種類(lèi)可分為三種:場(chǎng)發(fā)射電子槍、鎢絲槍和六硼化鑭。其中,場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
 
  冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡對(duì)真空條件要求高,束流不穩(wěn)定,發(fā)射體使用壽命短,需要定時(shí)對(duì)針尖進(jìn)行清洗,僅局限于單一的圖像觀察,應(yīng)用范圍有限;而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。
 
  電子顯微鏡利用電子成像,類(lèi)似于光學(xué)顯微鏡使用可見(jiàn)光成像。由于電子的波長(zhǎng)遠(yuǎn)小于光的波長(zhǎng),所以電子顯微鏡的分辨率要高于光學(xué)顯微鏡的分辨率。
 
  像電子顯微鏡的所有組件一樣,電子槍也被密封在特殊的真空室中以保護(hù)它不受污染、振動(dòng)和噪音的影響。除了保護(hù)電子槍不受污染,真空環(huán)境有利于得到高分辨率圖像。
 
  若非真空環(huán)境,鏡筒中可能存在其他原子和分子,它們與電子相互作用,使電子束發(fā)生偏轉(zhuǎn),從而降低圖像質(zhì)量。高真空環(huán)境也提高了鏡筒內(nèi)檢測(cè)器對(duì)電子的收集效率。

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